大功（gōng）率紫外線燈在半導體行業的應用

在半導體製造行業，大功率（lǜ）紫外線燈用於晶圓表麵微粒檢測。晶圓的切割、清洗會（huì）對晶圓表麵造成汙染，而用大功率紫外線燈輻射能夠發現汙染點（diǎn），這對於提高晶圓良品率至關重要。

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目（mù）前應用於半導體行業的（de）大（dà）功率紫外燈分為便攜式紫外線燈和固定式紫外線燈。

其中，便攜式大功率紫外線燈如大功（gōng）率紫外線手電筒可用於便攜式操作（zuò），常見的如檢查設備表麵（miàn）塵埃。

而固（gù）定（dìng）式大功率（lǜ）紫外線燈可檢查晶圓表麵質量和微粒檢查。例如台積電、中芯國際和上海微電子（zǐ）等半導體企業（yè）都有涉及到大（dà）功率紫外線燈。

大功率紫外線燈用於檢查半導體潔淨室

1、半導體潔淨室內部為了保持幹淨，通常潔淨室內氣壓高於標準大氣壓才能確保粉塵隻（zhī）出不進。

另外（wài）通過安裝大型鼓風機（jī），把過濾的清（qīng）潔空氣輸入到潔淨室中，為了保證溫濕度空調（diào）係統也是（shì）必須的安裝的。至於日常檢（jiǎn）查是否有塵埃落入（rù）可借助大功（gōng）率紫（zǐ）外線燈來檢查。

3、為了最大程度減少塵埃在潔淨（jìng）室滯留，潔淨室所有氣流方向均（jun1）由（yóu）上往下為主。

4、進入潔淨室內（nèi）的物料盡（jìn）量（liàng）選用不易產生靜電的材料，以減（jiǎn）少對灰塵的吸附。

5、進出潔淨室內的工作人員，嚴格按照空氣吹浴 (air shower) 程序，除（chú）去自身表麵粉塵。

6、為確（què）保人體及衣物的毛屑，進出潔淨室/無塵室的（de）工作（zuò）人員需穿戴無塵衣，杜（dù）絕與外界隔絕接觸 

總之（zhī），晶圓的（de）製造環境潔淨度將（jiāng）直接影響著晶圓的良品（pǐn）率，晶圓製造企業必須要有配套無塵生產環境才能（néng）確（què）保晶圓的質量。

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