作者:admin 發表時間:2017-02-06 16:29:20 點擊:124
LED芯片製(zhì)造主要是為了製造有效(xiào)可靠的低歐姆接觸電極,並能滿足可接觸材料之間最小的壓降及提供焊線的壓墊(diàn),同時盡可能多地出光。渡膜工藝一般用真空蒸鍍方法,其(qí)主要在1.33×10?4Pa高真空下,用電阻加熱(rè)或電子束(shù)轟擊加(jiā)熱方法(fǎ)使材料熔化(huà),並在低氣壓(yā)下變成金屬蒸氣(qì)沉(chén)積在半(bàn)導(dǎo)體材料表(biǎo)麵。一般所(suǒ)用的P型接觸金(jīn)屬包(bāo)括AuBe、AuZn等合(hé)金,N麵的接觸金屬常采用AuGeNi合金。鍍膜後形(xíng)成的合金層還需要通過光刻工藝將發光區盡可能多地露出(chū)來,使留下來的合金層(céng)能滿足有效可靠的低歐姆接(jiē)觸電極及(jí)焊線壓墊的要求。光刻工序結束後還要(yào)通過合金化過程,合金化通常是在H2或N2的保護下(xià)進行(háng)。合金化的時間和溫度通常(cháng)是根(gēn)據半(bàn)導體材料特性與合金爐形式等因素決定。當(dāng)然若是藍綠等芯片電極(jí)工(gōng)藝還要複雜,需增(zēng)加鈍化(huà)膜生長、等離(lí)子(zǐ)刻蝕工藝等(děng)。
隨著半導體LED技術的發展,其(qí)在照明領域的應用也(yě)越來越多,特別是白光LED的出現,更是成為半導體照明的熱點(diǎn)。但是關鍵的芯片、封裝技術還有待提高,在芯片方麵要(yào)朝大(dà)功率、高光效和降低熱阻方麵(miàn)發展。提高功率意味著芯片的使(shǐ)用電流加大,最直(zhí)接的辦法是(shì)加大芯片尺(chǐ)寸,現在普(pǔ)遍出現(xiàn)的大功率芯片都(dōu)在1mm×1mm左右,使用電流(liú)在350mA。由於使用電(diàn)流的加大,散熱問題成為突出(chū)問題,現在通過芯片倒裝的方法基本解決了這一文題。隨著LED技術的發展,其在照明領域的(de)應用會麵臨一個前所未有的(de)機遇(yù)和挑戰。
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